力士乐在半导体行业的解决方案
在半导体工业领域,力士乐提供了世界上最全面的传动与控制元件,包括电子传动与控制,气动及线型传动与组装技术。模块化的设计理念大大地简化了客户的开发工作,使您能更快地将产品推向市场。
针对半导体工业的特殊工艺,我们有一整套卓越的解决方案,包括用于实现晶圆加工所需的平滑运动、以非接触方式输送物料、纳米级的定位精度等等。
我们遍布全球的销售与技术支持团队具有丰富的实践经验。我们将竭诚为您服务,是您最可信赖的合作伙伴。
应用:晶圆搬运
高刚度,无过冲,无间隙:力士乐晶圆装卸解决方案的设计,完美地实现了高频 响的伺服驱动器、高刚度的线性子系统及气动执行器之间的协调一致。力士乐NYCe 4000运动控制系统,可降低机器总体花费得利于小巧精悍的机身。模块化的机器,整合低板,甚中可以在没有硬件的情况 下,通过模拟环境测试自己的软件,不必等到硬件安装就绪即可继续程序的开发。
应用要求:
无振动平滑运动
精确定位
高速运动
结构紧凑,节省空间
解决方案:
NYCe4000专为半导体工业开发的高精度运动控制系统
同步伺服电机/直线电机/步进电机
滚珠导轨导向系统
微型气动阀LS04
优点:
高阶曲线算法使运动极其平滑
高动态响应的驱动系统确保运动的稳定性
模块化的组件简化了产品设计,提高了您的开发效率
力士乐提供全套解决方案,包括电控及机械部件,方便您的采购和维护。